Технические газы в Курске — Стройсайт

Технические газы в Курске

Когда промышленная установка для осаждения в сверхвысоком вакууме достигает своего базового давления, обычно порядка 10-6 мбар (то есть одна миллиардная атмосферного давления), огромное количество частиц все еще присутствует в рабочей среде: более 26 миллиардов на кубический сантиметр. Из чего состоит этот остаток? Как правило, из тех же газообразных веществ, которые обычно присутствуют в воздухе: азота, кислорода, водяного пара и следов других веществ. Завод технических газов является одним из крупнейших производственных предприятий. На сайте фабрики https://kislorod-kursk.ru можно ознакомиться со всем ассортиментом. Несмотря на свою короткую историю, завод в настоящее время расширяет свои производственные мощности. Команда, состоящая из высококвалифицированных и опытных специалистов, использует новейшие технологии, соответствующие европейским стандартам, что означает, что завод предлагает высококачественную продукцию на местном и зарубежном рынках.

Характеристики

Многие промышленные процессы вакуумного осаждения требуют окружающей среды с контролируемым составом окружающей среды: определенное количество технических газов высокой чистоты затем непрерывно подается в камеры с помощью клапанов с регулируемым расходом, . Таким образом, установив баланс между входящим и исходящим потоком, генерируемым насосной системой, можно установить состояние равновесия, соответствующее тому, что определяется как «рабочее давление» системы. Значение этого давления варьируется в зависимости от рассматриваемого процесса: например, в технике, называемой магнетронным распылением (МС), оно составляет порядка 10-2 мбар, следовательно, в десять тысяч раз больше, чем указанное выше базовое значение давления. Поэтому мы можем сказать, что присутствующие остаточные газы будут сильно разбавлены потоком газа, вводимого в камеру, также называемого рабочим газом: поэтому их влияние на процесс, как правило, будет незначительным.

В дополнение к этому, существует множество других применений технических газов в вакуумной технике: например, обнаружение утечек, вентиляция в контролируемой атмосфере.

Но какие газы используются чаще всего? Полный список был бы очень длинным, поэтому мы остановимся на наиболее распространенных.

Благородные газы

Первая категория, которую обязательно следует упомянуть, относится к так называемым благородным газам: это те, которые нелегко поддаются химическим реакциям, они находятся в последней колонке (группе) периодической таблицы. Они используются по разным причинам: первая заключается в том, что они, по сути, являются инертными газами, которые позволяют регулировать давление в камере без каких-либо реакций с подложками. Поэтому они часто используются в качестве разбавителей в том случае, если в рабочую среду необходимо ввести другие химические вещества в небольших количествах. Другая причина, по которой используются благородные газы, заключается в том, что некоторые из них имеют особенно низкий потенциал первой ионизации, т. е. они способны легко терять электрон, превращаясь в ионы. Поэтому они особенно ценятся в случае, когда необходимо генерировать плазму, как в случае упомянутого выше метода магнетронного распыления.

Аргон

Наиболее часто используемым благородным газом в вакуумном секторе, безусловно, является аргон (химический символ Ar, название происходит от греческого слова, означающего «ленивый»), элемент, который очень неактивен, легко ионизируется и имеет низкую стоимость. Ar легко получается путем перегонки жидкого воздуха, составляющего почти 1% по объему воздуха, которым мы дышим. Кроме того, он коммерчески доступен в любой точке мира, поскольку используется во многих процессах, начиная от металлургии и заканчивая сваркой, техникой дайвинга, хирургией и т.д.